EVATEC PVD CLS200
开发集群主机自动化，连接fab主机进行配方下载/监控;自动创建作业，实时上传晶圆图. 採用PEERGROUP EIB作為SECS/GEM中間件 串連多部機台統一控管.
REVASUM CMP
开发机器人、对准器、负载口、工艺室驱动;开发工艺配方，用户GUI
MATTON ASPEN II PHOTO RESIST FILM STRIPPER
自主开发LoadPort, robot驱动, 自动调度逻辑, 工艺配方.
图片来源：EVATEC/REVASUM/MATTSON