开发及导入经验:工艺设备

EVATEC PVD CLS200

开发集群主机自动化,连接fab主机进行配方下载/监控;自动创建作业,实时上传晶圆图. 採用PEERGROUP EIB作為SECS/GEM中間件 串連多部機台統一控管.

REVASUM CMP

开发机器人、对准器、负载口、工艺室驱动;开发工艺配方,用户GUI

MATTON ASPEN II  PHOTO RESIST FILM STRIPPER

自主开发LoadPort, robot驱动, 自动调度逻辑, 工艺配方.

图片来源:EVATEC/REVASUM/MATTSON

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