显微镜目视检查(Micro Inspection) 不必是费力的工作, 我們借助高达6000倍分辨率的基恩士Keyence VHX系列显微镜，品管人員可以轻松地从遠端监视器检查晶圆工藝品質
一机可传输6吋〜12吋多尺寸及多类型晶圆
自动加载/依品质分装晶圆
配方驱动或手动操作
可记载并比对缺陷晶圆图 （Defect Map）
可加选宏观目视检查和倾斜显微镜做三维检测
晶圆网格图 (G85/TSK)
自定义检测码
自动/手动检测切换菜单
检测报告
导出检测结果到文件 (G85/TSK)
显微镜目视检查(Micro Inspection) 不必是费力的工作, 我們借助高达6000倍分辨率的基恩士Keyence VHX系列显微镜，品管人員可以轻松地从遠端监视器检查晶圆工藝品質
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